1、燃燒法是消除法的一種，是利用有機氣相污染物易燃燒性質進行處理的一種方法，把可燃的有機氣相污染物當作燃料來燃燒。該法適合處理高濃度有機氣相污染物，燃燒溫度控制在1100℃以上，去除效率達95%以上。

催化燃燒法因其凈化效率高，工藝簡單，是應用最廣的一種，也有不少國產裝置;但其主要問題是能耗大，尤其是廢氣濃度低時熱回收量少能耗更大;又濃度變化大時適應性不佳等亦限制了其應用。因而，工程實際使用率并不高。

2、吸附法，屬于回收法的一種。它主要利用某些具有吸附能力的物質來吸附有害成分，從而達到消除污染的目的。吸附法適用于幾乎所有的氣相污染物，一般是中低濃度的氣相污染物。它的吸附效果取決于吸附劑性質、氣相污染物種類等因素。

這種方法具有去除效率高的優點，是去除氣相污染物較為常用的方法，但存在投資后運行費用較高且有產生二次污染的缺陷，而且吸附劑的容量有限而設備龐大，吸附劑再生及溶劑回收等后處理工程復雜。

3、吸收法，也屬于回收法的一種。是采用低揮發或不揮發溶劑對氣相污染物進行吸收，再利用有機分子和吸收劑物理性質的差異進行分離的氣相污染物控制技術。

這種方法適用于濃度較高、溫度較低和壓力較高情況下氣相污染物的處理。但這種方法同樣存在后處理過程復雜以及二次污染的問題。